m2c microscopy measurement & calibration
Beschreibung
Die Anwendung eines 4-Quadrant-BSE-Detektors für die Topographiebestimmung von Probenoberflächen geht mit microShape einfach und schnell. Erweitern Sie Ihr Rasterelektronenmikroskop um die dritte Dimension und nutzen Sie folgende Vorteile:
- 3D Darstellung der Proben-Topographie
- Messung und Darstellung von Profilen
- Messung von 3D-Punktkoordinaten und Höhendifferenzen
- Berechnung von Raumstrecken und Raumwinkeln
Für quantitative 3D-Auswertungen ist eine Kalibrierung des verwendeten REM in Verbindung mit dem 4Q-BSE-Detektor erforderlich. Dafür empfehlen wir m2c Kalibrierstrukturen und die zugehörige Kalibriersoftware. Diese Kalibrierstrukturen wurden speziell für die Anforderungen bei der 3D-Kalibrierung am REM entwickelt. Sie enthalten räumlich verteilte Referenzmarken und eine Kugelkalotte für die Kalibrierung der BSE-Detektoren. Durch den Vergleich der am REM gemessenen Referenzmarken mit den Soll-Koordinaten der Kalibrierstruktur werden die Maßstäbe in allen drei Raumrichtungen ermittelt und für die Korrektur der 3D-Oberflächenmodelle verwendet.
Spezifikationen
m2c microShape berechnet aus den Bilddaten von vier BSE-Detektoren mittels photometrischer Mehrbildverarbeitung (Shape-from-Shading) ein dreidimensionales Oberflächenmodell der aufgenommenen Probe.
- Messung von Profilen, Höhen, 3D-Koordinaten, Raumstrecken und -winkeln
- Geometrische Operationen an 3D Oberflächenmodellen (definierte Freistellung, Drehung und Auflösungsänderung)
- Korrektur von 3D Oberflächenmodellen (Skalierung und Scherungskorrektur in allen drei Raumrichtungen)
- Datenexport für die spezielle Auswertung mit externer Software
- Flexible Konfiguration des verwendeten Detektors. Die erforderlichen Geometrie-Parameter des Detektors erhalten Sie vom Gerätehersteller.