m2c microscopy measurement & calibration
Beschreibung
Die m2c Kalibriersoftware microCal wurde speziell für die 3D Kalibrierung mit m2c Kalibrierstrukturen entwickelt. Die Nutzung der markergestützten 3D Kalibriertechnologie ermöglicht eine höhere geometrische Messgenauigkeit basierend auf der automatischen Auswertung der Kalibriermessung. Aus der Nutzung ergeben sich folgende Vorteile:
- One Step: Simultane Kalibrierung von Lage und Höhe in einem Schritt (Maßstäbe und Scherungen)
- One Model: Berücksichtigung von Kopplungen (Scherungen) zwischen vertikalen und lateralen Geräteachsen
- One Click: Effiziente Durchführung der Kalibrierung mit statistischer Auswertung
- One Reference: Die Software ist für verschiedene Messgeräte anwendbar
Spezifikationen
microCal berechnet sechs lineare Kalibrierparameter: Drei Maßstabsfaktoren für die Koordinatenachsen und drei Kopplungsfaktoren (Scherungen) zur Ermittlung der Orthogonalität der drei Koordinatenachsen. Die Software enthält außerdem Werkzeuge zur Bearbeitung von 3D Messdaten, vor allem zur 3D Datenkorrektur an Hand der berechneten Kalibrierergebnisse.
- Automatische Kalibrierung durch die Anwendung von leistungsfähigen Bildverarbeitungsmethoden, wie automatischer Probenorientierung und Sub-Pixel Koordinatenmessung
- Zuverlässige Berechnung der Kalibrierparameter durch statistische Methoden (basierend auf Least-Squares Methoden und Ausreißertests)
- Mathematische und grafische Genauigkeitsanalyse
- Speicherung aller Ergebnisse in eine Projektdatei
- Integrierte Exportfunktionen für PDF-Protokolldateien und ASCII-Daten
- Sicherung der Korrekturfaktoren in eine Parameterdatei für die Verwendung zur 3D Datenkorrektur weiterer Messungen
- 3D Datenprozessierung und -korrektur
- verschiedene SPM/3D Datenformate und Importfilter für ASCII- und Bilddaten enthalten